Rezina se nanaša na silicijev čip, ki se uporablja pri proizvodnji silicijevih polprevodniških vezij, njegova surovina pa je silicij. Po raztapljanju polikristalnega silicija -visoke čistosti se dodajo semena silicijevega kristala in se počasi izvlečejo, da nastane cilindrični monokristalni silicij. Po brušenju, poliranju in rezanju silicijeve kristalne palice tvorijo silicijeve rezine, znane tudi kot rezine. Domače proizvodne linije za rezine so večinoma 8-palčne in 12-palčne.
Glavni metodi obdelave rezin sta obdelava rezin in šaržna obdelava, kar pomeni obdelavo ene ali več rezin hkrati. Z manjšo velikostjo polprevodniških funkcij in napredkom opreme za obdelavo in merjenje so se pri obdelavi rezin pojavile nove značilnosti podatkov. Hkrati zmanjšanje velikosti elementov poveča vpliv števila delcev v zraku na kakovost in zanesljivost obdelane rezine med obdelavo rezine. Z izboljšanjem čistoče so se pojavile tudi nove podatkovne značilnosti števila delcev.
