Pregled izdelka
Naš sistem za jedkanje z ionskim žarkom (IBE) je visoko-natančna oprema za obdelavo materialov, zasnovana za industrijo mikro-nano izdelave. Uporablja fokusiran in nadzorovan ionski žarek za izvajanje fizičnega jedkanja na površini tanko-slojnih materialov, kar omogoča selektivno jedkanje ali postopke dviga-odstranitve z visoko natančnostjo.
Ta sistem je strokovno zasnovan za obdelavo širokega nabora tanko{0}}plastnih materialov, vključno s Cu, Cr, Pt, Au, Ti, Ag in Al₂O₃, vendar ne omejeno nanje. Podpira standardne velikosti rezin 6 palcev in 8 palcev, zaradi česar je zelo združljiv z glavnimi postopki proizvodnje polprevodnikov in mikro-elektro-mehanskih sistemov (MEMS). Z uporabo tehnologije jedkanja pri nizkih-temperaturah in majhnih-poškodbah zagotavlja idealno rešitev za pripravo visoko{9}}zmogljivih mikro-nano naprav.
Prednosti
Visoka natančnost in nadzor procesa
Sistem je integriran z naprednim sistemom za zaznavanje končnih točk jedkanja, ki omogoča-nadzor v realnem času in natančen nadzor nad celotnim postopkom jedkanja. To zagotavlja odlično ponovljivost in natančnost z enakomernostjo jedkanja manj kot ali enako ±5 % (tako znotraj rezin kot rezin-do-rezin), kar zagotavlja dosledne rezultate visoke-kakovosti v proizvodnih serijah.
Vrhunska združljivost procesov
Zadovoljuje zahteve glede jedkanja z več-koti, nizke-temperature (0 stopinj – 30 stopinj) in majhne-poškodbe. Ta zmožnost je ključnega pomena za zaščito temperaturno-občutljivih in krhkih materialov, zmanjševanje poškodb substrata in ohranjanje notranjih lastnosti tankih filmov, s čimer se bistveno izboljša izkoristek in zmogljivost naprave.
Prilagodljiva in razširljiva konfiguracija
Za izpolnjevanje raznolikih potreb po proizvodnji ter raziskavah in razvoju sistem ponuja izbirno arhitekturo orodij gruče. Ta modularna zasnova omogoča integracijo več procesnih komor, kar omogoča brezhibno integracijo procesa, veliko-serijsko proizvodnjo in učinkovito avtomatizacijo delovnega toka, zaradi česar je primeren tako za laboratorijske raziskave kot industrijsko masovno proizvodnjo.
Aplikacije
Sistem za jedkanje z ionskim žarkom je kritičen del opreme na področju napredne mikro-nano proizvodnje s širokim spektrom uporabe:
1. Izdelava polprevodniških naprav
Uporablja se za natančno vzorčenje kovinskih elektrod, medsebojnih povezav in struktur vrat v integriranih vezjih (IC) ter za prirezovanje in prilagajanje tanko{0}}plastnih uporov in kondenzatorjev.
2. Proizvodnja MEMS in NEMS
Ima ključno vlogo pri izdelavi mikro-senzorjev, mikro-aktuatorjev in drugih naprav MEMS/NEMS, saj omogoča ustvarjanje mikrostruktur z visokim-razmerjem-visokih razmerij in visečih struktur z visoko natančnostjo.
3. Proizvodnja optoelektronskih naprav
Uporablja se za obdelavo tank{0}}plastnih materialov v laserjih, fotodetektorjih in optičnih valovodih, kar olajša proizvodnjo visoko{1}}zmogljivih optoelektronskih komponent.
4. Napredno pakiranje in medsebojno povezovanje
Uporablja se v naprednih tehnologijah pakiranja za selektivno jedkanje prerazporeditvenih plasti (RDL) in pripravo visoko-natančnih izbočenih struktur.
pogosta vprašanja
V: 1. Kaj je sistem za jedkanje z ionskim žarkom (IBE)?
O: Sistem za jedkanje z ionskim žarkom (IBE) je visoko{0}}natančna mikro-nanoobdelovalna oprema, ki uporablja fokusiran ionski žarek za izvajanje fizičnega jedkanja na tanko-plastnih materialih. Uporablja se predvsem za selektivno jedkanje in odstranjevanje različnih tankih filmov in se pogosto uporablja v polprevodnikih, MEMS, optoelektroniki in drugih področjih.
V: 2. Za katere materiale je primeren sistem IBE?
O: Ta sistem IBE je primeren za selektivno jedkanje ali odstranjevanje tankih-slojnih materialov, kot so Cu, Cr, Pt, Au, Ti, Ag in Al₂O₃, in lahko zadovolji potrebe obdelave različnih običajnih kovinskih in dielektričnih tankih filmov.
V: 3. Katere velikosti rezin podpira stroj za jedkanje z ionskim žarkom?
O: Stroj za jedkanje z ionskim žarkom podpira dve standardni velikosti rezin: 6 palcev in 8 palcev, kar je združljivo z glavnimi specifikacijami za obdelavo rezin v industriji in izpolnjuje potrebe raziskav in razvoja ter malo-serijsko proizvodnjo.
V: 4. Kakšne so prednosti tehnologije jedkanja z ionskim žarkom?
O: Jedkanje z ionskim žarkom ima prednosti nizke temperature (0 stopinj ~30 stopinj), majhne poškodbe, več-kotne obdelave in visoke enakomernosti. Lahko zmanjša toplotno obremenitev in materialno škodo ter zagotovi stabilnost in doslednost postopka jedkanja.
V: 5. Kakšna je enotnost jedkanja sistema IBE?
Da, stroj za jedkanje z ionskim žarkom je integriran z naprednim sistemom za zaznavanje končne točke jedkanja, ki lahko spremlja proces jedkanja v realnem času, izvaja natančen nadzor nad procesom jedkanja in se izogne pre-jedkanju ali premaj{1}}jedkanju.
V: 6. Ali ima stroj za jedkanje z ionskim žarkom funkcijo zaznavanja končne točke?
O: Da, stroj za jedkanje z ionskim žarkom je integriran z naprednim sistemom za zaznavanje končne točke jedkanja, ki lahko spremlja proces jedkanja v realnem času, izvaja natančen nadzor nad procesom jedkanja in se izogne pre-jedkanju ali premaj-jedkanju.
V: 7. Ali je mogoče sistem IBE konfigurirati z več procesnimi komorami?
O: Da, sistem IBE podpira izbirno arhitekturo gruče, ki je lahko opremljena z več procesnimi komorami za jedkanje, da zadosti potrebam po prilagodljivem preklapljanju procesov in izboljšani učinkovitosti proizvodnje.
Priljubljena oznake: ibe sistem, Kitajska ibe sistem proizvajalci, dobavitelji
