Pregled izdelka
Nice-tech Electron Beam Evaporator je serija visoko{1}}zmogljive opreme PVD (Physical Vapor Deposition), razvite za raznoliko industrijsko proizvodnjo in znanstvene raziskovalne potrebe. Linija izdelkov, ki zajema množično proizvodnjo-na ravni rezin,-prevleke obdelovancev v velikih-velikostih, raziskave in razvoj-majhnih-serij ter specializirane procesne scenarije vključuje več modelov, kot so EBE 700, EBE 600 / EBE 600P, EBE 500, EBE 400, EBE300 / EBE300P, EBE 200 /EBE 200P, EBE 100. Vsak sistem združuje napredno tehnologijo vakuumskega premazovanja in-jedrne komponente svetovnega razreda (znamk, kot so Edwards, Pfeiffer in MKS), povezane s popolnoma samodejnim-kontrolnim sistemom VKOS, ki so ga sami razvili, kar zagotavlja stabilno, zanesljivo in učinkovito nanašanje filma.
Serijo izdelkov odlikujejo prilagodljive strukturne zasnove-vključno z eno-prekomornimi,-dvokomornimi-in kompaktnimi konfiguracijami-za prilagajanje različnim prostorskim in procesnim zahtevam. Ključni kazalniki učinkovitosti izstopajo: enakomernost prevleke, ki je natančna kot ±2 % (večina modelov) in ±3 % (kompaktni modeli), končni vakuum, ki doseže 1E-5Pa do 2E-5Pa, in obseg nadzora temperature od -50 stopinj do 500 stopinj (ali RT do 500 stopinj), da zadosti potrebam nanašanja različnih materialov. Ne glede na to, ali gre za masovno proizvodnjo na ravni rezin, zapleteno pripravo večslojnega filma ali laboratorijsko preverjanje raziskav in razvoja, Vikaitechovi sistemi za uparjanje z elektronskim žarkom zagotavljajo rešitve po meri.
Prednosti
- Vrhunska kakovost filma in visoka doslednost
- Raznovrstni modeli za ciljne potrebe
- Visoka avtomatizacija in enostavno vzdrževanje
- Močna združljivost in prilagajanje
- Zanesljive jedrne konfiguracije
Aplikacije
- Polprevodniki in mikroelektronika
- Optoelektronika in optična komunikacija
- Aerospace & Infrardeče odkrivanje
- Biomedicina in novi materiali
- Industrijska množična proizvodnja
- Znanstvene raziskave in univerze
Parametri
|
Postavka |
EBE 700 (vrsta-visoke masovne proizvodnje) |
EBE 600/EBE 600P (proizvodni dvo-komorni tip) |
EBE 500 (univerzalni tip z dvojno-komoro) |
EBE 400 (vrsta dvojne-prekate za raziskave in razvoj) |
EBE300 /EBE 300P (proizvodnja Eno{0}}komorni tip) |
EBE 200 /EBE 200P (univerzalni eno-komorni tip) |
EBE 100 (kompaktni tip) |
|
Enakomernost premaza |
±2% |
±3% |
|||||
|
Ponovljivost premaza |
±2% |
||||||
|
Končni vakuum |
2E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
2E-5Pa |
1E-5Pa |
1E-5Pa |
|
Območje nadzora temperature |
RT ~ 200 stopinj |
RT ~ 300 stopinj |
RT ~ 500 stopinj |
RT ~ 500 stopinj |
RT ~ 300 stopinj |
RT ~ 500 stopinj |
-50 stopinj ~ 500 stopinj |
|
Enotno območje odlaganja |
Vafer-Raven (8-palčni in več za množično proizvodnjo) |
Obdelovanci velike-velikosti (manj kot ali enaki 1000 mm × 1000 mm) |
Univerzalna velikost (primerna za proizvodnjo ter raziskave in razvoj) |
Majhni-do-srednjeserijski obdelovanci (raziskave in razvoj ter majhna-serijska proizvodnja) |
Obdelovanci velike-velikosti (manj kot ali enaki 1000 mm × 1000 mm) |
Največ Ø300 mm (rezina/obdelovanec) |
Laboratorijska-tehtnica majhne velikosti (manjša ali enaka Ø150 mm) |
|
Vrsta komore |
Enojna komora (polnoma-nivo rezin) |
Dvojna komora (vrsta proizvodnje, neodvisna procesna komora) |
Dvojna komora (univerzalni tip, vzajemna blokada obremenitve) |
Dvojna komora (vrsta raziskav in razvoja, zapora obremenitve zgornje-spodnje komore) |
Enokomorni (vrsta proizvodnje, velika komora) |
Enojna komora (univerzalni tip, standardna komora) |
Enojna komora (kompaktni tip, majhna komora) |
|
Sistem nalaganja |
Samodejni prenos rezin |
Samodejni robotski prenos |
Samodejno zaklepanje nalaganja enojnih/več{0}}rezin |
Samodejno zaklepanje nalaganja enojnih/več{0}}rezin |
Samodejni robotski prenos |
Ročno/pol{0}}samodejno nakladanje |
Ročno nalaganje (prenosno) |
|
L×W×H(m) |
8.5×5.5×3.3 |
4.4×4.1×2.6 |
4.0×3.1×2.9 |
3.0×2.5×2.2 |
4.05×3.9×2.8 |
3.35×2.8×2.2 |
3.15×2.4×2.2 |
|
Neto teža (pribl.) |
12000 kg |
8500 kg |
6800 kg |
4200 kg |
7200 kg |
5500 kg |
3800 kg |
pogosta vprašanja
V: Kaj je osnovna aplikacija?
O: Visoko{0}}natančno nanašanje-tankega filma za raziskave in razvoj polprevodnikov, optoelektronike, vesolja, biomedicine ter novih materialov.
V: Kateri materiali so združljivi?
A: Kovine (Al, Au), dielektriki (SiO₂), polprevodniki, spojine, keramika; T360 optimiziran za nanašanje indija.
V: Ključne specifikacije zmogljivosti?
A: Enakomernost premaza ±2 % (produkcijski modeli)/±3 % (R&R/kompakt); ponovljivost ±2 %; končni vakuum 1E-5Pa~2E-5Pa.
V: Ali je mogoče konfiguracije nadgraditi?
O: Da-dodaj vire ionov, pred-vakuumske komore, napeljave ali samodejne blokade obremenitve (odvisno-od modela).
V: Vključena namestitev in usposabljanje?
O: Namestitev/zagon na mestu- + usposabljanje za delovanje/vzdrževanje; na voljo daljinsko vodenje.
Priljubljena oznake: uparjalnik z elektronskim žarkom, proizvajalci, dobavitelji uparjalnikov z elektronskim žarkom na Kitajskem
