Pregled izdelka
Vertikalne in vodoravne cevne termične peči našega podjetja so osredotočene na visoko{0}}natančen nadzor temperature-opravljajo vse ključne polprevodniške toplotne obdelave, kot so oksidacija, difuzija in žarjenje-ne glede na to, ali gre za množično proizvodnjo ali laboratorijske raziskave in razvoj. Resnične razlike med njimi se nanašajo na strukturo in na to, kako ustrezajo določeni uporabi:
Vertikalna cevna termalna peč
Vertikalna cevna peč prihrani prostor, ustreza manj kot ali enako 8-palčnim rezinam (na voljo je 12-palčna industrijska možnost). Ključne specifikacije: cona konstantne temperature največ 850 mm, natančnost nadzora ±0,5 stopinje.
Industrijski model: pospešuje množično proizvodnjo IC/IGBT z neprekinjeno serijsko obdelavo. Raziskovalni model: Zadovoljuje potrebe srednje-nizke temperature SiC/kvantnega čipa za preverjanje majhnih-serij.
Horizontalna cevna toplotna peč
Horizontalna zasnova cevne peči, prilagodljiva konfiguracija 1-4 cevi; 300-1000 mm prilagodljivo območje konstantne temperature, območje 400 stopinj -1200 stopinj.
Industrijski model: Več-procesna integracija za dopiranje rezin/strukturno oblikovanje. Raziskovalni model: združuje poučevanje in razvoj, idealno za univerzitetne-maloserijske poskuse.
Oba uporabljata čiste komore in stabilen nadzor temperature, ki pokrivata toplotne potrebe polprevodnikov od raziskav in razvoja do množične proizvodnje.
Aplikacije
- Za univerze/raziskovalne ustanove: podpira majhne{1}}serijske raziskave in razvoj SiC, kvantnih čipov itd., kar pomaga pri preverjanju novih materialnih procesov in testiranju učinkovitosti.
- Mikro-nano obdelava: obravnava difuzijo, oksidacijo, žarjenje, LPCVD-služi kot prilagodljiva platforma za raziskave optoelektronskih/fotonskih naprav.
- Raziskave in razvoj optičnih naprav: Ustreza razvoju vgrajenega optičnega valovoda/hitro-fotonskih naprav; ustreza potrebam toplotne obdelave LiNbO₃ pri izmenjavi protonov.
- Univerzitetno poučevanje: Pomaga pri eksperimentalnem poučevanju/razvoju procesov, pomaga pri obvladovanju polprevodniške toplotne opreme in povezuje teorijo z inženirstvom.
Prednosti
Visok{0}}natančen nadzor temperature:
±0,5 stopinje natančnosti; celo pri 1100 stopinjah ostane stabilnost ene-točke ±0,5 stopinje 24 ur, kar zagotavlja zanesljivo ponovljivost podatkov.
Več{0}}procesna združljivost:
Vertikalne peči podpirajo difuzijo/oksidacijo; vodoravne dodajo žarjenje & LPCVD. Oba ustrezata raziskavam in razvoju SiC/kvantnih čipov.
Raziskovalci{0}}prijazna prilagodljivost:
Deluje z manj kot ali enakimi 8-palčnimi rezinami (1-4 cevi po izbiri). Majhnoserijska zasnova z eno cevjo zmanjša stroške; podpira dolge neprekinjene poskuse.
Parametri
|
Postavka |
Vertikalna cevna peč |
Horizontalna cevna peč |
|
Temperaturno območje |
200 stopinj -600 stopinj, 600 stopinj -1200 stopinj (dva razpona neobvezno) |
200 stopinj -600 stopinj, 600 stopinj -1200 stopinj (dva razpona neobvezno) |
|
Natančnost nadzora temperature |
Manjši ali enak ±0,5 stopinje |
Manjši ali enak ±0,5 stopinje |
|
Enakomernost temperature |
- |
Manjši ali enak ±1 stopinji |
|
Eno{0}}točkovna temperaturna stabilnost |
Manjše ali enako ±0,5 stopinj pri 1100 stopinjah 24 zaporednih ur |
Manjše ali enako ±0,5 stopinj pri 1100 stopinjah 24 zaporednih ur |
|
Največja stopnja ogrevanja |
10 stopinj/min |
10 stopinj/min |
|
Dolžina območja s konstantno temperaturo |
200-500 mm |
200-500 mm |
pogosta vprašanja
Kakšne velikosti rezin obdeluje cevna termična peč?
Tako navpični kot vodoravni modeli podpirajo rezine do 8 palcev.
Katere osnovne procese lahko izvajajo?
Vertikalna cevna peč: zajema difuzijo, oksidacijo in žarjenje.
Horizontalna cevna peč: tem osnovam doda integracijo LPCVD.
Ali je mogoče prilagoditi število procesnih cevi?
Vsekakor-lahko izberete od 1 do 4 cevi na enoto glede na vaše potrebe.
Kako natančen je nadzor temperature?
Natančnost nadzora temperature ostane znotraj ±0,5 stopinj. Celo pri 1100 stopinjah ena točka ohranja stabilnost znotraj ±0,5 stopinje 24 ur zapored. Tudi pri vodoravnih pečeh je enakomernost temperature znotraj ±1 stopinje.
Kaj pa hitrost ogrevanja in temperaturno območje?
Največja hitrost segrevanja doseže 10 stopinj/min, z dvema razpoložljivima temperaturnima razponoma: 200-600 stopinj in 600-1200 stopinj.
Ali je dolžina območja konstantne temperature nastavljiva?
Privzeto se giblje med 200–500 mm in je podprto prilagajanje.
Kateri je boljši za univerzitetne raziskovalne laboratorije?
Izberite navpično, če potrebujete osnovne procese-prihrani prostor in je-stroškovno učinkovito. Izberite vodoravno, če potrebujete LPCVD, podporo pri poučevanju ali za premostitev laboratorijskega dela in množične proizvodnje.
Ali lahko izvaja dolge poskuse? Je vzdrževanje drago?
Podpira neprekinjeno dolgoročno-delovanje. Vzdrževanje je redko, zato so stroški obvladljivi.
Ali je primeren za pilotno ali malo{0}}serijsko proizvodnjo?
Da-oba modela gladko preklapljata med raziskavami in razvojem ter malo{1}}serijsko proizvodnjo.
Priljubljena oznake: cevna termalna peč, proizvajalci cevnih termičnih peči na Kitajskem, dobavitelji
