Pregled izdelka

Ta pol-avtomatska oprema RTP je zelo praktična, saj lahko obdeluje rezine od 8 do 12 palcev. Pol-avtomatska RTP oprema ponuja natančen nadzor temperature in zelo nizko vsebnost kisika, zaradi česar je idealna za aplikacije, ki zahtevajo visoko čistost postopka. Poleg tega je -bogat s funkcijami, podpira tako atmosferske kot vakuumske metode obdelave in vključuje trojne varnostne funkcije. Popoln je za postopke, kot sta optimizacija ITO in žarjenje silicidne zlitine v srednje{8}}serijski proizvodnji.

Prednosti

Široka prilagodljivost:

Obdeluje 8-12-palčne rezine, ki ustrezajo potrebam serijske proizvodnje različnih velikosti. Prilagodljive konfiguracije žarnic in SCR se prilagajajo različnim procesnim scenarijem.

Avtomatizacija povečuje učinkovitost:

Medtem ko je še vedno potrebno ročno nalaganje in praznjenje rezin, se vrata komore samodejno odprejo in zaprejo po zagonu procesa, kar zmanjša ročno posredovanje in izboljša operativno učinkovitost ter doslednost procesa.

Natančna atmosfera:

Vsebnost kisika<1ppm, combined with 6-channel MFC, enables precise control of the reaction atmosphere, suitable for impurity-sensitive annealing processes.

Varno in zanesljivo:

Opremljen s trojnimi varnostnimi funkcijami v kombinaciji s samodejnim krmiljenjem vrat komore, kar zmanjšuje operativna in procesna tveganja ter zagotavlja stabilno delovanje opreme.

Parametri

Model	RTP-SA-8	RTP-SA-12
Velikost rezin	8 palcev in manj	12 palcev in manj
Velikost	970 mm × 1550 mm × 2160 mm (Š × G × V)	1050 mm × 1740 mm × 2240 mm (W×D×H)
Temperaturno območje	RT~~800 stopinj (nadzorovano s termokoplom) 500 stopinj ~1250 stopinj (nadzorovano s pirometrom)	RT~~800 stopinj (nadzorovano s termokoplom) 500 stopinj ~1250 stopinj (nadzorovano s pirometrom)
Največja stopnja ogrevanja	150 stopinj/s---Samo rezine 20 stopinj/s---SiC nosilec 30 stopinj/s---Grafitna nosilna prevleka SiC	150 stopinj/s---Samo rezine 20 stopinj/s---SiC nosilec 30 stopinj/s---Grafitna nosilna prevleka SiC
Enakomernost temperature	Manjše ali enako ±3 stopinj @ Manjše ali enako 600 stopinj Manjše ali enako ±0,5 % pri ＞600 stopinj	Manjše ali enako ±3 stopinj @ Manjše ali enako 600 stopinj Manjše ali enako ±0,5 % pri ＞600 stopinj
Ponovljivost temperature	±1 stopinja	±1 stopinja
Število sijalk/SCR	33 kosov / 10 kompletov	41 kosov / 16 kompletov 55ea / 24 kompletov
Max MFC	6	6
Najnižji pritisk	30 mTorr	30 mTorr
Stopnja puščanja	10 mTorr/min	10 mTorr/min
O₂Odstotek	<1 ppm	<1 ppm
Največja/povprečna moč	90/50 Kw	100/60 Kw
Napetost	380 V/ 60 HZ/ 3 faze 5 žic	380 V/ 60 HZ/ 3 faze 5 žic
Nadzorna metoda	PC nadzor	PC nadzor

pogosta vprašanja

1.Ali se vrata komore ne odpirajo/zapirajo samodejno?

Preverite, ali se je postopek začel normalno. Ponovno zaženite opremo in poskusite znova. Če se težava ponovi, preverite ožičenje senzorja vrat komore.

2. Vsebnost kisika presega 1 ppm?

Zamenjajte z-inertnim plinom visoke čistosti. Preverite puščanje plinovoda. Popravite in ponovno preizkusite ravni kisika.

3.Neenakomerno segrevanje rezin?

Prepričajte se, da je velikost rezin pravilna (8/12 palcev). Očistite kvarčno komoro. Če težave ne odpravite, se obrnite na inženirja, da prilagodi moč žarnice.

4.Vafer zlahka zdrsne med ročnim nalaganjem/razkladanjem?

Očistite nosilno površino. Med nalaganjem/razkladanjem rezino nežno potisnite na sredino. Nosite-nedrseče rokavice,-neprašne.

5. Kako ustaviti v sili?

Pritisnite "EMO Emergency Stop", da prekinete vir toplote. Ko odpravite težavo, pritisnite gumb "Ponastavi" za ponovni zagon.