Najmanjša velikost funkcije
Najmanjša kritična dimenzija (CD):
Najmanjša velikost elementa, znana tudi kot polovična velikost koraka, je eden najpomembnejših parametrov za merjenje zmogljivosti litografskih strojev.
Med njimi je konstanta, ki se spreminja v različnih litografskih shemah, kjer je λ valovna dolžina vhodnega svetlobnega vira in NA numerična apertura optičnega sistema litografskega stroja. Za konstante lahko trenutno litografski stroj ASML DUV na Nizozemskem doseže največ okoli 0,25, medtem ko je EUV še vedno okoli 0,35. Manjša kot je valovna dolžina vhodnega svetlobnega vira, manjši je dejanski postopek fotolitografije, ki ga je mogoče izvesti. Za numerično aperturo NA je zgornja meja te vrednosti običajno 1,0 za sheme DUV brez vlaženja in okoli 1,35 za sheme DUV z vlaženjem. V primerjavi z nepotopno litografijo stroji za potopno litografijo med litografijo uporabljajo dodatno tekočino za lom, običajno čisto vodo z lomnim količnikom približno 1,33. To je tudi razlog, zakaj imajo stroji za potopno litografijo večji NA.
Natančnost graviranja
Natančnost prekrivanja: Natančnost poravnave med masko in vzorci rezin.
Osnovni pomen se nanaša na natančnost poravnave vzorcev med obema postopkoma fotolitografije. Če je odstopanje poravnave preveliko, bo neposredno vplivalo na izkoristek izdelka.
Toleranca na izpostavljenost
Širina osvetlitve: širina osvetlitve, znana tudi kot rob izpostavljenosti, je eden od pomembnih parametrov okna procesa. Sistemi optične osvetlitve lahko oblikujejo energijsko območje osvetlitve, ki ustreza zahtevam za načrtovanje. Običajno je opredeljen z razponom izbire energije izpostavljenosti znotraj ± 10 % spremembe vrednosti CD, ki jo zazna rezultat izpostavljenosti. Če se širina črte izpostavljenega vzorca razmeroma malo spremeni, ko fotorezist odstopa od optimalne doze izpostavljenosti, to pomeni, da ima fotorezist veliko toleranco za izpostavljenost. Večja kot je toleranca izpostavljenosti, večja je razvojna toleranca.
Toleranca osvetlitve in kontrast projekcijske slike sta tesno povezana. Če ima velikost funkcije projicirane slike slab kontrast slike, bo preveč občutljiva na spremembe odmerka
