Oprema RTP za oksidacijo in difuzijo je osnovno orodje za termično obdelavo polprevodnikov-, ki združuje oksidacijo, difuzijo in žarjenje v eno robustno enoto. Brezhibno deluje s silicijem, silicijevim karbidom in drugimi kritičnimi materiali ter obdeluje rezine do 8 palcev in si je prislužil sloves zanesljivega delovanja in natančnega nadzora, ki izpolnjuje-{4}}dnevne zahteve obdelave polprevodnikov.
Osnovne aplikacije
1. Množična proizvodnja naprav-na osnovi silicija: To je vlečna sila za IC, IGBT in podobnimi komponentami. Uporabili ga boste za gojenje izolacijskih filmov z oksidacijo, določanjem ravni dopinga z difuzijo in glajenjem napak z žarjenjem-in pri tem ohranjali visoko-količinsko proizvodnjo, ki je potrebna v potrošniški elektroniki in industrijskem nadzoru.
2. Obdelava materiala s širokim-pasovnim presledkom: to orodje se resnično izrazi z naprednimi materiali, kot sta SiC in GaN. Omogoča vam, da pravilno prilagodite koncentracije dopinga in zgladite vmesnike materialov, kar je ključnega pomena za izdelavo visoko-zmogljivih delov-miselnih napajalnih modulov za nova energetska vozila, ki morajo vzdržati težke pogoje.
3. Raziskave in razvoj polprevodnikov: Univerze in laboratoriji prisegajo nanje zaradi njegove prilagodljivosti. To je več{2}}procesna platforma, ki raziskovalcem omogoča brez težav preklapljanje med oksidacijo, difuzijo in še-popolno za preizkušanje novih materialov, kot je galijev oksid, ali izvajanje eksperimentov, da bi videli, kako se različni parametri spremenijo.
Idealni uporabniki
1. Velika-proizvodna podjetja: če izdelujete polprevodnike za potrošniško elektroniko ali vozila z novo energijo, morate to opremo-imeti. Njegova zasnova-v-enem znižuje dodatne stroške in ohranja delovne tokove, medtem ko njegovo enakomerno delovanje zagotavlja, da proizvodnja ostane na pravi poti in donos ostane dosleden-brez nepričakovanih izpadov, ki bi vas upočasnili.
2. Raziskovalne ustanove in univerze: Za ekipe, ki iščejo nove polprevodniške materiale, je to orodje primerno. Z lahkoto upravlja z majhnimi-serijskimi poskusi, deluje s širokim naborom materialov in vam omogoča prilagajanje procesnih parametrov, kot je potrebno-s čimer pomaga pospešiti tempo inovacij brez ogrožanja rezultatov.
3. Srednji in majhni proizvajalci naprav: Če morate uskladiti naročila po meri s serijsko proizvodnjo, je ta oprema pameten izbor. Deluje z več materiali, tako da vam ni treba kupiti ločenih orodij za različne postopke, njegova nastavitev 1-4 procesnih cevi pa vam omogoča povečanje ali zmanjšanje zmogljivosti. Ta agilnost je velik plus, ko poskušate ostati konkurenčni na hitro razvijajočem se trgu.
