Naša-oprema RTP za visokotemperaturno oksidacijo je osnovno termično orodje za-proizvodnjo polprevodnikov v velikem obsegu-njena glavna naloga je ustvariti čiste, goste SiO₂ filme na silicijevih substratih, kot nalašč za izdelavo naprav CMOS, IGBT in MEMS. Široko se uporablja v proizvodnji polprevodnikov, novi energetski elektroniki,-elektronskih komponentah višjega cenovnega razreda in celo v univerzitetnih/raziskovalnih laboratorijih za raziskave in razvoj polprevodnikov ter pilotno proizvodnjo.
Kako izbrati pravi model
Izbira pravega je odvisna od vaših proizvodnih potreb in procesov-tukaj je preprosta razčlenitev:
1. 12-palčni model
Če vas zanima napredna množična proizvodnja velikih{0}}oblatov, je to pravi. Lahko obdela več kot ali enako 125 rezin na čoln, zato je odličen za-velikoserijsko proizvodnjo jedrnih polprevodniških naprav v-velikem obsegu. Poleg tega ponuja natančen nadzor temperature (±0,5 stopinje) in konstantno temperaturno območje, ki je večje ali enako 850 mm, kar zagotavlja enakomerno debelino filma (WIW/WTW/RTR manj kot ali enako ±2 %) za vsako serijo.
2. 8-palčni model
Pri tem gre za prilagodljivost. Deluje z več metodami oksidacije-suhi kisik (Si) in mokri kisik (hitro izhlapevanje/vodna kopel/vžig H2O)-zato ustreza večini običajnih potreb masovne proizvodnje. Temperaturno-se giblje od 600-1150 stopinj z natančnostjo nadzora manj kot ali enako ±0,5 stopinje, njegovo konstantno temperaturno območje (300–860 mm) pa zagotavlja zanesljivo enakomernost filma (WIW/WTW manj kot ali enako ±2 %). Prilagojen je za 8-palčno množično proizvodnjo, tako da učinkovitost ostaja enaka zahtevam velikega obsega.
Komu je namenjen in kam ustreza
Veliki proizvajalci polprevodnikov: 12-palčni model je vaša izbira za zagon čipov CMOS, napajalnih naprav IGBT in drugih osnovnih komponent v velikih količinah.
Prevladujoča elektronika/nova energetska podjetja: 8-palčni model blesti tukaj-ne glede na to, ali izdelujete avtomobilsko elektroniko, dele komunikacijskega jedra 5G, potrošniške elektronske čipe ali močnostne polprevodnike, njegova večprocesna združljivost zagotavlja nemoteno proizvodnjo.
Univerze in raziskovalne ustanove: 8-palčni model je popoln za testiranje novih polprevodniških materialov ali razvoj najsodobnejših prototipov naprav. Z lahkoto se prilagaja različnim R&R nastavitvam, kar je velik plus za laboratorijsko delo.
Hitra opomba o kakovosti: za komoro uporabljamo profesionalne materiale in pametno konstrukcijsko zasnovo, tako da je zagotovljena čistost filma-brez neželenih nečistoč, ki bi pokvarile stvari. In oba modela odlikujeta stabilni procesi, zahvaljujoč natančnemu nadzoru temperature in dosledni kakovosti filma.
Še vedno niste prepričani, kateri je najboljši? Obrnite se na nas in pomagali vam bomo izbrati pravo opremo za vaš potek dela!
