Pregled izdelka
Nice-Tech' 8-palčni ICP-CVD sistem je zasnovan za nanašanje tankega-sloja na 8-palčne rezine. Ustvarja plazmo visoke gostote prek induktivne sklopitve (ICP) in vzpostavi pristranskost prek kapacitivne sklopitve (CCP), kar omogoča nanašanje pri nizkih temperaturah.
Skladen s standardi SEMI, uporablja univerzalne 8-palčne fab komponente in je prestal stroge teste stabilnosti. Sistem podpira 8/6-palčne rezine (prek izbirnih elektrod), ki ustrezajo masovni proizvodnji in raznolikim procesnim potrebam.
Prednosti
Odlaganje pri nizki-temperaturi in visoki-gostoti
Odlaga filme visoke{0}}gostote na<120°C, comparable to LPCVD films grown at 750°C, avoiding high-temperature damage to wafers.
Vrhunska filmska izvedba
Gostota toka uhajanja se ujema s folijami, pripravljenimi z ALD-, kar zagotavlja električno stabilnost in zanesljivost naprave.
Visoko-razmerje-zapolnjevanja
Omogoča enakomerno zapolnjevanje globokih lukenj/žlebov, s čimer rešuje težave z neenakomernim polnjenjem v kompleksnih strukturah.
Prilagodljiva združljivost
Deluje z 8/6-palčnimi rezinami; standardizirani deli zmanjšajo stroške vzdrževanja in olajšajo integracijo z obstoječimi linijami.
Aplikacije
Nanos izolacijskega sloja
Za 8-palčne logične/pomnilniške naprave (npr. DRAM, NAND). Nanaša izolacijske plasti SiO₂/SiNₓ za zagotavljanje zanesljive električne izolacije med komponentami.
Polnjenje strukture z visokim-razmerjem-visokega razmerja
Uporablja se v močnostnih polprevodnikih in MEMS. Napolni globoke jarke/votline z visoko natančnostjo za izboljšanje strukturne celovitosti naprave.
Napredno odlaganje embalaže
Uporablja se v 8-palčni embalaži na ravni rezin (WLCSP, SiP). Polaga izolacijske/zaščitne folije za večjo zanesljivost embalaže.
Posebna funkcionalna priprava filma
Pripravlja posebne funkcionalne filme: proti-odsevne premaze za fotodetektorje (povečanje absorpcije svetlobe) in dielektrične filme z nizkimi-izgubami za RF naprave (zagotavljanje celovitosti signala).
Parametri
|
Kategorija |
8-palčni sistem ICP-CVD |
|
Združljivost rezin |
8-palčni (primarni); 6-palčni (izbirno, prek združljivih elektrod) |
|
Temperatura nanašanja |
Manj kot ali enako 120 stopinj (proces pri nizki-temperaturi) |
|
Generacija plazme |
Induktivna spojna plazma (ICP) + kapacitivna sklopljena plazma (CCP) |
|
Gostota filma |
Primerljivo s filmi LPCVD, gojenimi pri 750 stopinjah |
|
Tok uhajanja filma |
Enakovredno filmom, pripravljenim z atomskim nanosom (ALD) |
|
Zmogljivost polnjenja z visokim-razmerjem-visoke širine in višine |
Enakomerno polnjenje za globoke luknje/žlebove (primerno za napredne polprevodniške strukture) |
|
Materiali za odlaganje |
SiO₂, SiNₓ in druge funkcionalne folije (prilagodljive glede na potrebe procesa) |
|
Procesna komora |
Visok{0}}vakuumska zasnova (zagotavlja čisto sestavo filma in stabilno nanašanje) |
|
Industrijska skladnost |
Skladen s standardi SEMI; združljiv z 8-palčnimi proizvodnimi linijami rezin |
|
Ključne komponente |
Mednarodni standardni deli (zmanjšuje težave pri vzdrževanju in stroške) |
pogosta vprašanja
V: Katere velikosti rezin podpira sistem?
A: 8-palčni (primarni) in 6-palčni (izbirno prek združljivih elektrod).
V: Kakšna je najvišja temperatura nanašanja?
O: Manj kot ali enako 120 stopinjam (postopek pri nizki-temperaturi, da se prepreči poškodba rezin).
V: Ali lahko zapolni strukture z-visokim{1}}razmerjem stranic?
O: Da, omogoča enakomerno zapolnjevanje globokih lukenj/žlebov.
V: Ali je sistem združljiv z industrijskimi standardi?
O: Popolnoma skladen s standardi SEMI, enostaven za integracijo z obstoječimi 8-palčnimi tovarnami.
Priljubljena oznake: icp-cvd sistem, Kitajska icp-cvd sistem proizvajalci, dobavitelji
