Rezine so razdeljene na gole rezine in rezine z vzorci, kot je prikazano na sliki 6. Izhodišče za obravnavanje tipov napak pri dveh vrstah rezin je nekoliko drugačno. Na površini rezin je veliko vrst napak, ki jih lahko povzročijo procesi ali napake v samem materialu. Uporaba različnih metod odkrivanja napak lahko povzroči različne klasifikacije napak. Ob upoštevanju fizikalnih lastnosti napak in specifičnosti poznejših algoritmov za odkrivanje napak lahko napake preprosto razvrstimo v površinske redundance (delci, onesnaževala itd.), kristalne napake (napake zdrsne linije, napake pri zlaganju), praske in napake vzorca (za vzorčne rezine).
Površinska redundanca
Na površini rezin so različne vrste odvečnih materialov, od drobnih delcev, velikih kot desetine nanometrov, do prahu, velikega kot stotine mikrometrov, in površinskih ostankov, ki jih je pustil prejšnji proces. Delci se lahko vnesejo s postopki, kot so jedkanje, poliranje, čiščenje itd. Redundančne napake v glavnem nastanejo zaradi prahu na površini rezin med proizvodnjo in obdelavo, čistosti zraka, ki ne ustreza standardom, in kemičnih reagentov med obdelavo. Ti delci lahko med fotolitografijo blokirajo svetlobo in povzročijo napake v strukturi integriranega vezja. Kontaminanti se lahko oprimejo površine rezin, kar povzroči nepopolne vzorce in vpliva na električne lastnosti čipa, kot je prikazano na sliki 7.
Kristalna napaka
Pogosta vrsta napake, ki jo povzroči neenakomerno segrevanje med rastjo kristala, so tudi napake drsnih linij. Običajno tvorijo majhne vodoravne črte na zunanjem robu oblata. Zaradi relativno velike velikosti zdrsne črte jo je mogoče prepoznati z ročnim opazovanjem.
Napake zlaganja so tudi napake, ki jih lahko najdemo v epitaksialnih plasteh, običajno zaradi motenj normalnega zaporedja zlaganja gosto zapakiranih ravnin v kristalni strukturi, z velikostmi, ki so običajno v mikrometrskem območju.
Mehanske poškodbe
Mehanske poškodbe se na splošno nanašajo na praske na površini rezin, ki jih povzroči poliranje ali rezanje, običajno zaradi kemično mehanskega poliranja (CMP), ki tvori obliko loka, ali pa gre za neprekinjeno porazdelitev točk, kot je prikazano na sliki 10. Ta vrsta poškodb se razlikuje po velikosti in običajno vpliva na povezljivost vezja rezin, zaradi česar je resna napaka. To napako je mogoče popraviti, vendar je lahko posledica nepravilnega mehanskega delovanja.
