Pregled izdelka

Ta litografski stroj brez maske, preprosto povedano, je stroj, ki lahko vrezuje zapletene vzorce na materiale brez "maske". Je bolj prilagodljiv in stroškovno-učinkovitejši od tradicionalne šablonske litografije ter omogoča hitre prilagoditve vzorcev, zaradi česar je primeren za raziskave, malo-serijsko proizvodnjo in poučevanje.

Na voljo je v štirih glavnih modelih:

1. Raziskovalna različica litografskega stroja brez maske je primerna za laboratorijske raziskave, ravnanje s 6-palčnimi materiali in zmožnost jedkanja vzorcev do velikosti 0,4 mikrometra, kar zagotavlja visoko natančnost;

2. Visoko{1}}različica litografskega stroja brez maske je za malo-serijsko proizvodnjo, ki obdeluje 8-palčne materiale pri izjemno visokih hitrostih, do 2500 kvadratnih milimetrov na minuto;

3. Izobraževalna različica litografskega stroja brez maske je majhen namizni model, velik le 2 palca, idealen za poučevanje v razredu in enostaven za uporabo;

4. Različica ultra-velikega formata, zmožna obdelave 2-metrskih materialov, ki ustreza posebnim potrebam obdelave v velikem obsegu.

Ne glede na to, ali izdelujete drobne komponente čipov, mikrofluidne čipe za biološke eksperimente ali izobraževalne predstavitve, obstaja model, ki ustreza vašim potrebam in vam prihrani čas in denar z odpravo potrebe po maski.

Če želite izvedeti, kako uporabiti določen model ali kateri model izbrati za določeno vrsto scenarija obdelave, se obrnite na naše podjetje. To vam bomo podrobno razložili s pomočjo brošure o izdelku.

Prednosti

Prilagodljiv dizajn, maske niso potrebne

Natančnost kritične dimenzije do 400 nm

Hitrost do 1200 mm2 /min

Izpostavljena površina do 4 m2

Sivina litografija do 4096 ravni

Parametri

Model	MLM 100	MLM 200	MLM 300
Kritična dimenzija	0.8 μm	0.4 μm
Najmanj vrstic in presledkov	1.0 μm	0.8 μm
Hitrost osvetlitve	Leča①: 3 mm²/min Leča②: 20 mm²/min Leča③: 100 mm²/min	Leča①: 1 mm²/min Leča②: 3 mm²/min Leča③: 20 mm²/min Leča④: 100 mm²/min	Leča①: 10 mm²/min Leča②: 60 mm²/min Leča③: 150 mm²/min
Natančnost prekrivanja (5 mm × 5 mm)	400 nm	350 nm
Natančnost prekrivanja (50 mm × 50 mm)	1000 nm	700 nm
Valovna dolžina	LED: 405 nm / 380 nm	LED: 405 nm / 390 nm
Samodejno preklapljanje leč	Podprto
Sivine	Neobvezno	Podprto	Ni-izbirno
Substratesize	3 mm × 3 mm (najmanj) & 150 mm × 150 mm (največ)
Debelina podlage	0-10 mm
Format podatkov	GDS & DWG & DXF
Dimenzije (D×Š×V)	750 mm × 800 mm × 700 mm	1150 mm × 950 mm × 2000 mm
Teža	320 kg	590 kg
Zahteve za namestitev	Skupna površina: 1,5 m × 1,5 m Moč: 1,3 Kw; Temperatura: 20-30 stopinj; Vlažnost: RH 40-60 % Napajanje: 220 V ±5 %, 50 Hz ±1 Hz, 10 A	Skupna površina: 2,2 m × 1,7 m Moč: 1,4 Kw; Temperatura: 20-30 stopinj; Vlažnost: RH 40-60 % Napajanje: 220 V ±5 %, 50 Hz ±1 Hz, 10 A

Model	MLM 400	MLM 500
Kritična dimenzija	1.0 μm	0.5 μm
Najmanj vrstic in presledkov	2.0 μm	0.5 μm
Hitrost osvetlitve	Leča①: 1000 mm²/min Leča②: 2500 mm²/min	Leča①: 75 mm²/min Leča②: 300 mm²/min Leča③: 1200 mm²/min
Natančnost prekrivanja (5 mm × 5 mm)	500 nm	250 nm
Natančnost prekrivanja (50 mm × 50 mm)	1000 nm	500 nm
Valovna dolžina	LD: 405 nm / 375 nm
Samodejno preklapljanje leč	Podprto
Sivine	Neobvezno
Substratesize	3 mm × 3 mm (najmanj) & 200 mm × 200 mm (največ)
Debelina podlage	0-10 mm
Format podatkov	GDS & DWG & DXF
Dimenzije (D×Š×V)	1700 mm × 1300 mm × 1950 mm
Teža	1400 kg
Zahteve za namestitev	Skupna površina: 2,7 m × 2,3 m Moč: 2,4 Kw; Temperatura: 20–26 stopinj; Vlažnost: RH 40-60 % Napajanje: 220 V ±5 %, 50 Hz ±1 Hz, 16 A

pogosta vprašanja

Kaj je največja prednost tega stroja v primerjavi s tradicionalnimi litografskimi stroji?

Odpravlja potrebo po "maskah" (šablone, ki se uporabljajo v tradicionalni litografiji). Spremembe vzorcev se izvedejo neposredno v programski opremi, kar prihrani stroške in čas priprave predloge. To zelo olajša-maloserijsko poskusno proizvodnjo in raziskovanje novih modelov.

Kako dobro lahko jedka? Ali imajo različni modeli različno natančnost?

Natančnost je odvisna od modela: raziskovalna različica lahko jedka do 0,4 mikrometra, visoko-hitrostna različica 0,5 mikrometra in izobraževalna različica 1,5 mikrometra, kar zadostuje za večino dnevnih raziskav in proizvodnje.

Katere velikosti materialov zmore?

Manjša gradiva vključujejo izobraževalno različico (2 palca, približno 5 cm), raziskovalno različico (6 palcev) in visoko-hitro različico (8 palcev). Za ultra{6}}večje materiale obstajajo modeli z možnostjo jedkanja do 2 metrov, primerni za velike senzorje in prilagodljive zaslone.

Kako hitro je? Ali je primeren za malo{0}}serijsko proizvodnjo?

Visokohitrostna-različica lahko jedka do 2500 kvadratnih milimetrov na minuto, kar zadostuje za malo-serijsko proizvodnjo. Raziskovalna različica daje prednost natančnosti, vendar njena hitrost izpolnjuje tudi eksperimentalne potrebe brez dolgih čakalnih dob.

Ali lahko poleg standardnih materialov gravira posebne materiale?

Lahko gravira diamante, optična vlakna in celo ukrivljene majhne lopatice motorja. Opremljen je lahko tudi s predalom za rokavice za ravnanje z materiali, občutljivimi na vodo in kisik (kot so mikro-LED in magnetni oksidi).

Ali se lahko uporablja pri poučevanju v šoli? Ali obstajajo primerni modeli?

Na voljo je izobraževalna različica. Je namizne-velikosti, enostaven za uporabo in kot nalašč za študente, da vadijo načela fotolitografije. Natančnost 1,5 mikrona zadostuje za učne poskuse.

Ali je vir svetlobe pritrjen? Je mogoče spremeniti?

Privzeto je ultravijolična svetloba 405 nm. Za posebne potrebe je mogoče izbrati druge valovne dolžine (na primer 380 nm in 375 nm), ne da bi morali zamenjati celotno enoto.

Priljubljena oznake: stroj za litografijo brez maske, proizvajalci, dobavitelji strojev za litografijo brez maske