Sistem za prevleke in razvijanje je ključni-ali-prelomni del orodja v proizvodnji polprevodnikov-njegova zmogljivost neposredno oblikuje natančnost vezja, učinkovitost proizvodnje in končni izkoristek. Če ste obtičali pri izbiri pravega modela, je tukaj -neumni vodnik za zmanjšanje hrupa:
1. Začnite s svojim dejanskim primerom uporabe
Ne skočite najprej v specifikacije-začrtajte, za kaj ga v resnici uporabljate:
Linije za množično proizvodnjo(pomislite na električne naprave, tovarne LED): dajte prednost prepustnosti in zanesljivosti. Prizadevajte si za WPH (rezine na uro) vsaj 150, MTBF (povprečni čas med napakami) več kot 1000 ur in čas delovanja 95 % ali več-ne morete si privoščiti pogostih izpadov.
Laboratoriji za raziskave in razvoj ali majhni-serijski projekti: Prilagodljivost je najpomembnejša. Poiščite opremo, ki deluje z več procesi (I line, PI, PR itd.) in lahko obvlada zapletene rezine-zvitih, kvadratnih ali nenavadnih-velikih.
Posebne potrebe po čipih:
2-6-palčni sestavljeni polprevodniki ali LED? UTW-1500 ali UTW1500X ustreza vsem zahtevam.
8-12-palčni vrhunski čipi ali embalaža CoWoS? UTW-3000 je edini, ki podpira te večje rezine.
2. Osredotočite se na specifikacije, ki so dejansko pomembne
Ni vam treba zapomniti vsake številke-ničle teh ključnih:
Natančnost: Najmanjša širina črte (350 nm za osnovne aplikacije, do 45 nm za high{2}}chipe) in stopnja lomljenja rezin (mora biti manjša ali enaka 0,01 %-celo majhne izgube se seštejejo).
Prepustnost: WPH se giblje od 150 (UTW1500X) do 200 (UTW-3000) – izberite tisto, kar ustreza vašemu proizvodnemu tempu.
Združljivost: Prepričajte se, da ustreza vaši velikosti rezin (2–12 palcev) in kasetam (SMIF, OPEN CASSETTE ali FOUP za čistejša okolja).
3. Ne spreglejte majhnih podrobnosti
Majhne stvari lahko veliko spremenijo vsakodnevno-{1}}uporabo:
Vesolje: Če je vaša delavnica tesna, stolp-slog UTW1500X (166015102000 mm) prihrani dragocen prostor na tleh. Potrebujete prostor za razširitev? Izberite modele z 2C2D/4C4D+vmesnikom (na primer UTW-1500 ali UTW-3000).
Materiali: Deli, ki se dotikajo rezin, morajo biti iz PEEK/PTFE/KERAMIKE ali združljivi z opremo ASML/Nikon-da preprečite kontaminacijo rezin.
Programska oprema: Zagnati se mora v sistemu Windows 10 ali novejšem-nima smisla ukvarjati se z zastarelimi sistemi, ki so v nasprotju z vašimi nastavitvami.
4. Preverite poverilnice in po-prodajno podporo
Dober stroj je tako zanesljiv kot podjetje, ki stoji za njim:
Izberite proizvajalce s certifikati ISO, IAF in CNAS -to je dokaz, da izpolnjujejo industrijske standarde.
Potrdite, da ponujajo hitra popravila (MTTR manj kot ali enako 4 ure) in trdno tehnično podporo. Ko se stroj pokvari, ne morete več tednov čakati na pomoč.
5. Hitra izbira modelov za pogoste scenarije
2-6-palčna raziskava in razvoj ali maloserijska proizvodnja(sestavljeni polprevodniki, LED, optične naprave): UTW-1500/UTW1500X. Je stroškovno-učinkovit, deluje z večino osnovnih procesov in brez težav obravnava zvite/kvadratne rezine-poleg tega je stopnja lomljenja izjemno nizka (manj kot ali enako 0,01 %).
4-8-palčna množična proizvodnja čipov srednjega razreda(napajalne naprave, IC-ji, pomnilniški čipi): UTW-2000A. Z natančnostjo 180 nm in konstantno pretočnostjo 160 kosov/h je to delovni konj za linije srednjega obsega. Na voljo je tudi z do 24 moduli za hladno/vročo ploščo za dosledno obdelavo.
8-12-palčna množična proizvodnja čipov višjega razreda(pomnilniški čipi, embalaža CoWoS): UTW-3000. Tu je najboljši – natančnost 45 nm, pretok 200 kosov/h in podpora za napredne procese, kot sta KrF in ArF. Združljivost kaset FOUP/SMIF ohranja stvari čiste za občutljive čipe.
Majhne-črte s prostorom: UTW1500X. Ta oblika stolpa je rešilna bilka za ozke kraje in še vedno dosega vse osnovne ocene zmogljivosti.
Posebni postopki ali oblati nenavadnih-oblik: UTW-2000Z. Pokriva skoraj vse postopke (I line, KrF, ArF, Package) in ima do 38 modulov za hladno/vročo ploščo – kot nalašč za opravila po meri ali zahtevne podlage.
